クリーンルームにおける停電、瞬時電圧低下現象対策 (月刊「クリーンテクノロジー」別冊号) (単行本)

内容（「MARC」データベースより）
半導体製造など工程の長い製造現場で「瞬低」や短時間でも「停電」が発生するといろいろな製造環境で製品の品質に及ぼす影響は非常に大きなものになる。その対策法や対策装置、雷対策などについて解説する。